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LC183ML640/557680-06海德汉HEIDENHAIN测量原理

测量基准
海德汉光学扫描的直线光栅尺或编码器的测量基准都是周期刻线－光栅。
这些光栅刻在玻璃或钢材基体上。对于大长度的光栅尺，用钢带作为光栅尺基体。
海德汉公司用以下特别开发的光刻工艺制造精密光栅。
• AURODUR：在镀金钢尺带上蚀刻栅线；典型栅距：40 µm
• METALLUR：抗污染的镀金层金属栅线；典型栅距：20 μm
• DIADUR：玻璃基体上超硬铬线（典型栅距：20 μm）或玻璃基体上三维铬线格栅（典型栅距：8 μm）
• SUPRADUR相位光栅：光学三维平面格栅；*抗污能力；典型栅距：不超过8 μm
• OPTODUR相位光栅：光学三维平面格栅，超高反光性能；典型栅距：不超过2 μm
除极小栅距外，由该工艺刻制的光栅拥有优异的边缘清晰度和均匀性。结合光电扫
描法，边缘清晰的刻线是输出高质量信号的关键。母版光栅采用海德汉公司定制的精密刻线机制造。

测量法
式测量是指光栅尺或编码器在通电时立即提供位置值并随时供后续电子电路读取。无需移动轴执行参考点回零操作。位置信息由一系列码编排的光栅读取。单独的增量刻轨信号通过细分生成位置值，同时用于生成可选的增量信号。