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| 品牌 | HYDAC/德国贺德克 |
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空气过滤器的原型是人们为保护呼吸而使用的呼吸保护器具。据记载，早在
一世纪的罗马，人们在提纯水银的时候就用粗麻制成的面具进行保护。在此之后的漫长时间里，空气过滤器也取得了进展，但其主要是作为呼吸保护器具用于一些危险的行业，如有害化学品的生产。1827年布朗发现了微小粒子的运动规律，人们对空气过滤的机理有了进一步的认识。
空气过滤器的迅速发展是与军事工业和电子工业的发展紧密相关的。在*次世界大战期间，由于各种化学毒剂的使用，以石棉纤维过滤纸作为滤烟层的军用防毒面具应运而生。玻璃纤维过滤介质用于空气过滤于1940年10月在美国取得专li。50年代，美国对玻璃纤维过滤纸的生产工艺进行了深入的研究，使空气过滤器得到了改善和发展。60年代，HEPA过滤器问世；70年代，采用微细玻璃纤维过滤纸作为过滤介质的HEPA过滤器，对013微米粒径的粒子过滤效率高达99.9998%。八十年代以来，随着新的测试方法的出现、使用评价的提高及对过滤性能要求的提高，发现HEPA过滤器存在着严重的问题，于是又产生了性能更高的ULPA过滤器。各国仍在努力研究，估计不久就会出现更先进的空气过滤器。
高效空气过滤器一般作为过滤末端，因此对高效过滤器的各项要求也较为严格，出厂需逐台检测。高效过滤器作为末端是各级过滤器中最关键的一级，需要额外的“观照”。要延长高效过滤器的使用寿命，最根本的办法是将灰尘挡在预过滤器。更换预过滤一般无须停产、无须调试，所以有经验的业主会把注意力和金钱放在预过滤器上。对于10000级和100000级洁净厂房。预过滤可选用F8过滤器，这样末端高效过滤器的使用寿命一般可达五年。在国外项目中和国内新项目中，F8过滤器是非均匀流洁净室较常见的预过滤器。对于芯片厂100级，10级或更高级别的洁净厂房，预过滤器的常见效率级别为H10，许多新项目索性选用HEPA。在国内过去的洁净室空调系统设计中，过滤器常见配置为：粗效中效高效。那时高效过滤器的使用寿命仅为1--3年，最差的也就几个月。可见，预过滤器的效率高低决定末端过滤器使用的寿命。
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